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RTO蓄熱式氧化爐由蓄熱體（蓄熱陶瓷），燃燒室，外殼 隔熱層，切換閥，送風機，煙囪，換熱器，控制系統，管線等組成。處理過程分為蓄熱，放熱，清洗3個過程。
VOC廢氣首先進入蓄熱陶瓷體中加熱，RTO蓄熱式氧化爐設備,換熱、制冷空調設備安裝施工，經過加熱后的廢氣進入燃燒室內，燃燒室內溫度為600-1000度之間，廢氣經過燃燒室高溫氧化后分解為CO2 H2O， 并放出熱量，處理后的廢氣再經過蓄熱陶瓷體給陶瓷體加熱，然后排出爐體進入熱交換器，后通過煙囪排出。蓄熱陶瓷體經過VOCS廢氣蓄熱，放熱后，殘留在陶瓷體上的污染物需經過潔凈空氣清掃后才能進入下一個處理過程。整個過程都通過PLC自動控制，高效，自動穩定運行。可視化強。 如果廢氣成分,濃度,氣量不穩定,,廢氣總管上應該設置在VOC在線監測儀,實時監測VOC濃度,廢氣進入RTO爐前設置緊急排放口,連接活性炭吸附風機，或引入新風稀釋 。
廢氣中有可冷凝回收的成分時,應該實施冷凝回收,減輕RTO爐處理壓力. 廢氣中含有有RTO爐不能處理的成份時,處理后的尾氣應該加裝相應的處理設備. RTO爐剛開機時需要用干凈空氣升溫，溫度升至工作溫度需要一定的時間。
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